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  激光切割機的切割精度與激光器產(chǎn)生的激光輸出功率有關(guān)外，還有一個較為重要的關(guān)鍵點在于激光切割機的精密定位。關(guān)于定位技術(shù)所存在的問題，是如何使微細領(lǐng)域的定位技術(shù)擴展到更廣的領(lǐng)域，盡管已有報告提出僅利用衛(wèi)東螺絲可達到納米精度的超精密定位，但大多數(shù)情況下，并不能以簡單的進給機構(gòu)來完成。
    尤其是像機器人哪樣，以多于一個自由度的位置、姿勢（旋轉(zhuǎn)）為目的的多自由度結(jié)構(gòu)，要求必須備有粗微動結(jié)構(gòu)。而且對多自由度的微動結(jié)構(gòu)，為了能精密地控制運動對象在任意方向的運動，各自由度方向具有相同的運動特性，這一段也是很重要的。
    若能很好地利用像采用旋轉(zhuǎn)體導(dǎo)向、滾動這樣在細微領(lǐng)域中所變現(xiàn)的特性的話，便能實現(xiàn)亞微米級單位技術(shù)。此外還有報告提出，利用滾子和滑子之間的摩擦驅(qū)動特性實現(xiàn)納米級超精密定位。