激光切割機(jī)聲光調(diào)制器掃描的方式:快速激光切割機(jī)掃描微加工系統(tǒng),以中心頻率為102MHz驅(qū)動(dòng)的一對(duì)Te02聲光偏轉(zhuǎn)器使其在X-Y平面里偏轉(zhuǎn),光束通過一個(gè)平場(chǎng)物鏡聚焦為直徑約1.0)um的微光斑,對(duì)工件進(jìn)行激光切割機(jī)中光柵式掃描,每隔lum劃一條柵格線,掃描場(chǎng)被分為256×256個(gè)掃描點(diǎn),掃描速度達(dá)2.5×10\6點(diǎn)/秒,用另一塊聲光晶體和光電二極管構(gòu)成的閉環(huán)反饋來實(shí)時(shí)補(bǔ)償偏轉(zhuǎn)器在整個(gè)掃描場(chǎng)的傳輸不均勻性。
要加工更大的尺寸,則由X-Y數(shù)控臺(tái)的移動(dòng)來實(shí)現(xiàn)掃描場(chǎng)的拼接。激光切割機(jī)的微加工系統(tǒng)用氦氖激光束,采用光斑 小化原理使激光焦點(diǎn)動(dòng)態(tài)地保持在掃描面上。將三維CAD/CAM軟件與數(shù)控聲光激光掃描工具結(jié)合起來,并沿襲新近發(fā)展起來的高聚物溶液激光固化的宏觀零件快速成形技術(shù)。